AMS超薄微型直线行电机定位平台
产品特性：
·超薄微型直线行电机定位平台
·行程15mm，其他行程可定制
·内置光栅尺，重复定位精度可达±0.3um
·可灵活组合，叠加成XY或搭配AMR叠加成XT或XYT平台
·典型应用领域：适用于亚微米级定位、光学对位平台，力控制
| 参数规格 | 单位 | AMS65X |
| 行程 | mm | 10 |
| 持续力 | N | 4.6 |
| 峰值力 | N | 8.4 |
| 分辨率 | μm | ABI22: SINCOS |
| ABI21: 0.5/0.2 | ||
| AT2: SINCOS | ||
| AT2: 0.2/0.05 | ||
| 重复精度 | μm | ABI22 SINCOS: ±0.4 (4096X) |
| ABI21: 0.5/0.2:±1 | ||
| AT2: 0.2/0.05:±0.5 | ||
| AT2 SINCOS: ±0.3 (4096X) | ||
| 直线度 | μm | ±1.5 |
| 平面度 | μm | ±1.5 |
| 建议负载1 | kg | 0.3 |
| 运动质量2 | kg | 0.18 |
| 总质量2 | kg | 0.42 |
| 负载 | kg | 6.0 |
| 倾侧力矩 | Nm | 1.6 |
| 俯仰力矩 | Nm | 2.0 |
| 横摆力矩 | Nm | 2.4 |
注：
1.在此负载下，平台可以提供不少于1G的加速度。
2.运动质量和总质量不包含建议负载。
