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深圳市东测科技有限公司

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深圳市东测科技有限公司
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  • 经营范围：深圳市东测科技有限公司公司现货销售、租赁惠普（安捷伦）、泰克、安立、爱得万、横河、安腾、力科、马可尼（IFR）、R&S、Exfo等品牌之眼图仪、光谱分析仪、光时域反射仪(OTDR)、可调激光源、光功率计、光衰减器、光纤熔接机等光纤通信仪…
  • 主营行业：
    智能控制 / 机器视觉
  • 所在地区：广东/深圳市
  • 信用指数：0
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首页 > 供应产品 > Canon-machinery FPA-6000ES6a 步进式光刻机
Canon-machinery FPA-6000ES6a 步进式光刻机
浏览： 248
单价： 面议
最小起订量： 1
供货总量： 10000
发货期限： 自买家付款之日起 2 天内发货
有效期至： 长期有效
最后更新： 2022-03-12 17:50
 
详细信息
  • Canon-machinery FPA-6000ES6a 步进式光刻机  
  • 发布时间：2017/6/30 17:21:49   修改时间：2017/6/30 17:21:49 浏览次数：519
  • Canon-machinery FPA-6000ES6a 步进式光刻机

  • Canon-machinery FPA-6000ES6a 步进式光刻机



    实现90nm以下分辨力的高性能KrF曝光装置(FPA-6000ES6a)

    FPA-6000ES6a的设计理念

    追求高分辨力

    装有数值孔径NA0.86的透镜

    采用高效率的照明系统，用高强度RET照明提高生产效率

    强化像差校正机构

    采用已经拥有业绩的FPA－6000系列工作台(platform)确保设备稳定运行

    实现了高精度对位

    进给芯片的温度稳定化对策

    装置内空间气流控制的最佳化

    对应高数值孔径(High NA)的调焦系统

    即使在高数值孔径(Hign NA)条件下，仍可确保充分的调焦宽容度

    采用新的校准机构


    询价单
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