多轴直线电机精密平台TDS-XY系列
TDS-XY下轴使用三根导轨达到更好的性能，支持更长长行程的上轴。使用定制的带气管紧凑排线，是半导体行业的理想选择。
设计特点：
A. 三轨堆叠XY平台
B. 下轴使用三根导轨，支持更长长行程的上轴
C. 使用定制的带气管紧凑排线
| 性能参数 | 单位 | L | U |
| 有效行程 | mm | 500 | 500 |
| 额定负载 | kg | 20 | |
| 空载运动质量 | kg | 40 | 7 |
| 最加大速度 | m/s2 | 10 | 10 |
| 速度 | m/s | 1 | 1 |
| 电机型号 | - | AUM5-S3 | AUM4-S3 |
| 持续推力 | N | 295 | 166 |
| 峰值推力 | N | 2122 | 936 |
| 编码器参数 | μm | 0.05/0.1/0.5/SINCOS | 0.05/0.1/0.5/SINCOS |
| 最小机械步长 | μm | 0.5 | 0.5 |
| 重复定位精度 | μm | ±1.0 | ±1.0 |
| 定位精度 | μm | ±10.0 | ±10.0 |
| 直线度 | μm | ±10.0 | ±10.0 |
| 平面度 | μm | ±10.0 | ±10.0 |
| 横摆角 | arc sec | ±10.0 | ±10.0 |
| 俯仰角 | arc sec | ±10.0 | ±10.0 |
| 正交性 | arc sec | 10.0 | |
| 空载平台总质量 | kg | 350 | |
注：
1.此参数表是此种类型平台的典型值。
2.请联系我们获取更多选项。
