等离子清洗系统在低温下具有几种作用：等离子表面处理改性、接枝聚合和沉积聚合。所谓表面改性，是指改变原料表层或薄层的活性和离子注入，一般称为减量处理法。因为低温等离子体的动能(达到20ev)远远高于有机化学中的化学键能(10ev)，所以它非常活跃。当处理纤维有机物质时，所处理的原料表面的化学纤维极易破裂，从而提高化学纤维或纺织材料的亲水性、耐磨性、抗污染性及着色性能。等离子技术接枝聚合用于激活表层，引入特活性官能团，然后用接枝法将原表层的几个特异性碳键连接起来，生成新的表层。沉淀聚合是指按照加工工艺标准，在处理过程中表面形成等离子形态的有机物。
应用等离子技术对各种材料表面进行活化处理，其操作简单，处理前后没有有害物质产生，处理效果好，效率高，运行成本低。
等离子设备接受过处理的零部件在进行后续加工之前可存放多久？零部件的存放时间取决于活化时间和材料 ，最短为几分钟，最多可达到数月。因此，通常有必要进行现场试验。
本等离子体表面处理系统主要包括三个部分：真空腔及真空系统，等离子体发生器，控制系统。1、 真空腔及真空系统
真空腔固定于机柜框架内，机柜的框架尺寸1722X1060X1840，左右两侧为可拆门，背面是对开的两扇门，因此内部的真空腔及真空系统的维修是极方便的。真空腔尺寸600X600X600，可以同时处理九层尺寸为550X550的工件。真空腔及真空阀门固定于框架内。外置一台粗抽泵与一台罗茨真空泵，一个与真空泵连接的电磁充气阀门，一台变频器控制真空泵的转速，进行闭环控制，保持真空腔的动态平衡，保证真空腔体内真空度在正常工作范围内。四个给真空腔充入微量气体的比例流量阀。用此阀可调节气体的进气量，以满足等离子表面处理工艺对气体流量和气体比例的要求。为了便于控制，在可调节比例流量阀后串有四个电磁真空挡板阀门。一个给真空腔破真空用的电磁充气阀门。真空计是在腔体内压强低于2.7X103才显示的数显真空计，可设三个控制真空度，本机90－100Pa为充入微量气体的真空度，30Pa为30Pa为放电下限，100Pa为放电上限。
