- Canon-machinery FPA-5510iZ 步进式光刻机
- 发布时间：2017/6/30 17:21:02 修改时间：2017/6/30 17:21:02 浏览次数：508
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Canon-machinery FPA-5510iZ 步进式光刻机
对应粗糙层(Rough Layer) 的高生产效率i－线曝光装置。5510iZ的设计理念
对应高生产效率的光学系统
已实现高生产效率的高照度照明系统的进一步改良
采用高亮度水银灯
采用已拥有业绩的FPA-5000系列工作台(platform)
采用可靠性高的FPA-5500系列工作台(platform) 确保装置稳定运行
实现了高精度对位性能
降低芯片因受曝光热产生变形的对策
平台空间气流控制的最佳化
投片率的进一步提高
采用已实现高生产效率的新型芯片台
