北京维意真空技术应用有限责任公司

　　可移动排气台方案配置说明

　　一、配置（简单气路，不用旁抽）：

　　分子泵：JTFB-1600，抽速1600L/s的国产风冷复合分子泵；

　　机械泵：TRP-36，抽速9L/s的合资机械泵；

　　复合真空计：PDF-5227，测量范围大气压—10-5Pa，含CF35

　　电离规和KF16电阻规；

　　转接真空室：CF250—CF150，高度200mm；

　　插板阀：CF150手动；

　　防返油阀：KF40压差隔断放气阀，电磁驱动；

　　波纹管：1根 CF150*1500mm+1根 KF40*500mm

　　移动平台：带围板的小车。