Canon-machinery FPA-5550iZ 步进式光刻机

Canon-machinery FPA-5550iZ 步进式光刻机

产品总括

佳能在2001年成功推出FPA-5500之后，在此平台上又开发了FPA-5550iZ高速i线步进式光刻机。本产品完全满足超大规模内存生产商对生产设备的高生产率及高运行稳定性的要求。

产品特征

通过采用高加速性能的工作台，缩短硅片的曝光时间，优化硅片的传送时点使FPA-5550iZ的生产能力相对于其前任产品-FPA-5510iZ，有了50%的大幅提高，而且对准精度也得到了改善。?FPA-5550iZ集FPA-5500系列产品之大成，为超大规模300mm硅片制造商提供了高生产能力的优良产品。

为了满足客户的要求，FPA-5550iZ产品还提供了SMIF选项。SMIF的应用，使掩模板装入及退出实现完全自动化，极大的提高了生产效率。同时也可满足小生产线的灵活的手动要求。

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