Canon-machinery I-1230 步进式光刻机

Canon-machinery I-1230 步进式光刻机


 

用于存储器布线成膜(Memory Wiring Deposition)的大规模量产化PVD设备(12“硅片)。

I-1230用于半导体存储器互连行业的传导金属加工处理。我们独创的Caera阴极技术在反应性放电或者在高应力材料处理情况下都能保证良好的均一性及极少量particle的产生。拥有这些功能，I-1230能够实现高成品率及高生产率，可大大降低生产成本。

AELA阴极：通过in-situ每个制程工艺(RECIPE)的调整，可以方便的对阴极磁铁位置（3轴）的可变均一性、清洁做到最优化调节处理。

生产量： 80wfs/H 达到世界最高水准

运转率：>90% 半导体存储器生产线（故障率<1%）