Canon-machinery FPA-6000ES6a 步进式光刻机

Canon-machinery FPA-6000ES6a 步进式光刻机



实现90nm以下分辨力的高性能KrF曝光装置(FPA-6000ES6a)

FPA-6000ES6a的设计理念

追求高分辨力

装有数值孔径NA0.86的透镜

采用高效率的照明系统，用高强度RET照明提高生产效率

强化像差校正机构

采用已经拥有业绩的FPA－6000系列工作台(platform)确保设备稳定运行

实现了高精度对位

进给芯片的温度稳定化对策

装置内空间气流控制的最佳化

对应高数值孔径(High NA)的调焦系统

即使在高数值孔径(Hign NA)条件下，仍可确保充分的调焦宽容度

采用新的校准机构

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