深圳市东测科技有限公司公司现货销售、租赁惠普（安捷伦）、泰克、安立、爱得万、横河、安腾、力科、马可尼（IFR）、R&S…
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更新日期2022-03-15 11:11
品牌： |
未填 |
所在地： |
广东 深圳市 |
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≥1 |
供货总量： |
10000 |
有效期至： |
长期有效 |
Canon-machinery FPA-5510iZ 步进式光刻机
对应粗糙层(Rough Layer) 的高生产效率i－线曝光装置。
对应高生产效率的光学系统
已实现高生产效率的高照度照明系统的进一步改良
采用高亮度水银灯
采用已拥有业绩的FPA-5000系列工作台(platform)
采用可靠性高的FPA-5500系列工作台(platform) 确保装置稳定运行
实现了高精度对位性能
降低芯片因受曝光热产生变形的对策
平台空间气流控制的最佳化
投片率的进一步提高
采用已实现高生产效率的新型芯片台
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