6103Ckeithley?吉时利 6103C 高精度静电计

6103Ckeithley?吉时利 6103C 高精度静电计

最高的电流测量灵敏度1×10-17A；最高的电阻(率)直接测量能力5×10-17Ω；准确度、灵敏度、功能、价格优于任何其他公司的高阻计/静电计。测量范围：电流(10-17~10-2A)；电压(10-6~102/104V)；温度(-190~1350℃)；电阻(10-1~1017Ω)；电荷(10-15~10-6C)；湿度(0.3%~100%)

主要性能：输入阻抗大于2×1014Ω；输入端压降小于20μV；仪器内部温度湿度补偿；已备1kV精密程控电压源，最小步长5mV；测量数据可作为t,T,H的函数；六位半弱电流和高阻电压测量分辩率；小信号带宽100kHz；直接测体/表面电阻率1018Ωcm,1017Ω/口；噪声小于7.5×10-16A；具有十通道测量扩展能力；快速弱电流测量125点/秒；多参数同时测量和显示；带IEEE-488.2接口和RS-232接口；前放输出(阻抗转换)和模拟输出；最长可驱动300米电缆；数据存储(15K,Max),触发联接技术

选 件：8009-体/表面电阻率测试箱；8002A-元器件测试箱；6521/6522-十通道低漏电流扫描卡；6517-RH-湿度探头；KPC-488.2AT-IEEE-488.2接口卡；TESTPOINT-测控软件包； SC-9(22)-二(三)同轴低噪声电缆；6103C-40KVDC输入分压探头；237-TRX-NG-三槽三同轴至BNC转接器；5156-校准源；6524-高阻、体/表面电阻率测试软件包，最新变电压极性法增强高阻测试能力

软件支持：与617静电计兼容，SCPI命令；6524高阻、体/表面电阻率测试软件；有LABVIEW和TESTPOINT软件所驱动程序；多种编程举例；内置九个标准测试程序：二级管漏电流测试；电容漏电测试； 表面绝缘电阻测试；电缆绝缘电阻测试；方波扫描测试；电阻电压系数测试；体电阻率测试；表面电阻率测试；阶梯波扫描测试 62/65系统：62系统适用于高阻元器件测试，包括6517A高阻计，8002A元器件测试盒，6524软件及电缆附件；65系统适用于高阻材料测试，包括6517A高阻计8009电阻率测试盒，6524软件及电缆附件

技 术 指 标 电 流 量 程 五位半分辩率 精度18℃~28℃±(读数的%+字)(1年) 温度系数0℃~18℃&28℃~50℃±(读数的%+字)/℃ 20pA 100aA 1+30 0.1+5 200pA 1fA 1+5 0.1+1 2nA 10fA 0.2+30 0.1+2 20nA 100fA 0.2+5 0.03+1 200nA 1pA 0.2+5 0.03+1 2μA 10pA 0.1+10 0.005+2 20μA 100pA 0.1+5 0.005+1 200μA 1nA 0.1+5 0.005+1 2mA 10nA 0.1+10 0.008+2 20mA 100nA 0.1+5 0.008+1  电 阻 量 程 五位半分辩率 精度18℃~28℃±(读数的%+字)(1年) 温度系数 测量电压 电流量程 2MΩ 10Ω 0.125+1 0.01+3 40V 200μA 20MΩ 100Ω 0.125+1 0.01+1 40V 20μA 200MΩ 1kΩ 0.15+1 0.015+1 40V 2μA 2GΩ 10kΩ 0.225+1 0.035+1 40V 200nA 20GΩ 100kΩ 0.225+1 0.035+1 40V 20nA 200GΩ 1MΩ 0.35+1 0.110+1 40V 2nA 2TΩ 10MΩ 1.35+1 0.110+1 400V 2nA 20TΩ 100MΩ 1.025+1 0.105+1 400V 200pA 200TΩ 1GΩ 1.15+1 1.125+1 400V 20pA  电 荷 量 程 五位半分辩率 精度18℃~28℃±(读数的%+字)(1年) 温度系数0℃~18℃&28℃~50℃±(读数的%+字)/℃ 2nC 10fC 0.4+5 0.04+3 20nC 100fC 0.4+5 0.04+1 200nC 1pC 0.4+5 0.04+1 2μC 10pC 0.4+5 0.04+1  电 压 量 程 五位半分辩率 精度18℃~28℃±(读数的%+字)(1年) 温度系数0℃~18℃&28℃~50℃±(读数的%+字)/℃ 2V 10μV 0.025+4 0.003+2 20V 100μV 0.025+3 0.002+1 200V 1mV 0.06+3 0.002+1  温度(热电偶) 热电偶类型 量 程 精度18℃~28℃±(读数的%+字)(1年) K -190℃~1350℃ ±(0.27%±1℃)  相对湿度 量 程 精度18℃~28℃±(读数的%+相对湿度%)(1年) 0~100% ±(0.3%±0.5)  电 压 源 量 程 五位半分辩率 精度18℃~28℃±(设置的%+偏置)(1年) 温度系数0℃~18℃&28℃~50℃±(设置的%+偏置)/℃ 100V 5mV 0.15+10mV 0.005+1mV 1000V 50mV 0.15+100mV 0.005+10mV