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【PECVD设备,CVD设备,维意真空】价格,厂家,PECVD设备

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品牌定制型号wayes-PECVD
炉管尺寸直径100加工定制
产地北京

  *** PE-CVD结构特点介绍:

  1、PECVD系列真空管式高温烧结炉如图所示,集控制系统与炉膛为一体;

  2、炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料,采用进口高温合金电阻丝为加热元件;

  3、高纯石英管横穿于炉体中间作为的炉膛,炉管两端用不锈钢法兰密封,工件式样在管中加热,加热元件

  与炉管平行,均匀地分布在炉管外,有效的保证了温场的均匀性;

  4、测温采用性能稳定,长寿命的“K”型热电偶,以提高控温的精准性;

  5、它是专为高等院校﹑科研院所及工矿企业对金属,非金属及其它化和物材料在气氛或真空状态下进行烧

  结﹑融化﹑分析而研制的专用设备;

  6、MPECVD系列真空管式炉能够快速开启,快速升降温,方便客户对特殊材料的装载,烧制和观察;

  7、炉体的控制面板配有触摸屏,控制电源开关,配有电源和保险指示灯,以便随时观察本系统的工作状态。

  *** 主要特点:

  ? 清洗镀膜一气呵成,杜绝二次污染;

  ? 上开启结构,式样观察方便;

  ? 触屏人机对话整体性操作,安全可靠;;

  ? 产品采用全自动控制方式,触摸屏,数字化显示。

  ? 真空系统、工作压强、电源系统及自动匹配、工艺气体流量、加热系统、运动系统、工艺过程、系统监控及数据采集等

 
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