早期的ITO导电膜玻璃是采用铟锡合金作为溅射靶材,进而通过氧化反应形成膜导电膜。但这种材质有这天然的缺陷,比如,它对溅射工艺控制的要求就非常严格。因为氧气流量的轻微波动,可能就会导致氧化反应的不均匀,最终导致膜层的透过率和刻蚀性变差。而如果氧气流量过大,又会使得靶面溅射效率下降,进而影响膜层的厚度和阻值。 因此,随着镀膜技术的不断发展和新材料的研发,氧化靶出现了。这种制作工艺就是将高纯度的氧化铟和氧化锡超细粉末,按比例充分混合后、采用粉末冶金工艺烧结成固体靶材。这样的好处是可以避免上述用铟锡合金作为溅射靶材、通过氧化反应形成导电膜的工艺所出现的大部分问题。
作为导电膜玻璃、电子玻璃源头厂家,苏州尚阳太阳能科技有限公司多年专注于ITO/FTO导电玻璃、镀钼玻璃、浮法玻璃、石英玻璃、柔性导电膜,以及玻璃相关实验室设备的设计、研发和产销。
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ITO导电玻璃的高温喷涂和等离子体喷涂工艺:高温喷涂和等离子体喷涂工艺:这种技术是将粉末状金属或非金属、无机材料加热至熔化或未熔化状态,并进一步加温使其雾化,形成高温高速焰流喷向需喷涂的玻璃基体。采用这种方式可以先在基体上制备YBaGUOx等涂层,在经过热处理可成为超导性材料。