本期我们就来聊一聊新型、实用性非常强的导电玻璃:镀膜导电玻璃,也称导电膜玻璃。下面我们来看看这种导电玻璃的工作原理,以及其广泛的应用场景。常见的导电膜玻璃有ITO导电玻璃、FTO导电玻璃、镀钼玻璃等种类,能够广泛应用于太阳能、显示屏、智能家居、电子电器、光学、高校实验室、科研所等各种行业和场景,商用性也非常强。 那么,这些种类的导电膜玻璃的工作原理是什么呢? 以FTO导电玻璃为例,其实就是在基础玻璃之上镀一层掺杂氟的SnO2(二氧化锡)膜,进而实现导电功能。这种方式使玻璃具备导电功能的原理非常简单:玻璃本身是固体,也就是绝缘体,导电靠的的就是那一层薄薄的掺氟二氧化锡膜。同理,ITO玻璃、镀钼玻璃也是这个导电原理,只是它们在玻璃表面镀的那层膜的成分有差别。
早期的ITO导电膜玻璃是采用铟锡合金作为溅射靶材,进而通过氧化反应形成膜导电膜。但这种材质有这天然的缺陷,比如,它对溅射工艺控制的要求就非常严格。因为氧气流量的轻微波动,可能就会导致氧化反应的不均匀,最终导致膜层的透过率和刻蚀性变差。而如果氧气流量过大,又会使得靶面溅射效率下降,进而影响膜层的厚度和阻值。 因此,随着镀膜技术的不断发展和新材料的研发,氧化靶出现了。这种制作工艺就是将高纯度的氧化铟和氧化锡超细粉末,按比例充分混合后、采用粉末冶金工艺烧结成固体靶材。这样的好处是可以避免上述用铟锡合金作为溅射靶材、通过氧化反应形成导电膜的工艺所出现的大部分问题。
页面所示石英玻璃,可进行镀膜、数控切割、激光刻蚀等深加工操作。
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