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Canon-machinery FPA-6000ES6a 步进式光刻机

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更新日期2022-03-12 17:50

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  • Canon-machinery FPA-6000ES6a 步进式光刻机  
  • 发布时间:2017/6/30 17:21:49   修改时间:2017/6/30 17:21:49 浏览次数:519
  • Canon-machinery FPA-6000ES6a 步进式光刻机
  • Canon-machinery FPA-6000ES6a 步进式光刻机



    实现90nm以下分辨力的高性能KrF曝光装置(FPA-6000ES6a)

    FPA-6000ES6a的设计理念

    追求高分辨力

    装有数值孔径NA0.86的透镜

    采用高效率的照明系统,用高强度RET照明提高生产效率

    强化像差校正机构

    采用已经拥有业绩的FPA-6000系列工作台(platform)确保设备稳定运行

    实现了高精度对位

    进给芯片的温度稳定化对策

    装置内空间气流控制的最佳化

    对应高数值孔径(High NA)的调焦系统

    即使在高数值孔径(Hign NA)条件下,仍可确保充分的调焦宽容度

    采用新的校准机构


     
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