激光干涉仪单频激光干涉仪 从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，江苏通用水平式激光干涉仪品牌排行，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为 激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果，江苏通用水平式激光干涉仪品牌排行，江苏通用水平式激光干涉仪品牌排行。 一次测量后可同时显示多区域测量结果、光学平行度和材料均匀性的测量， 90°直角棱镜和角锥测量。江苏通用水平式激光干涉仪品牌排行
激光干涉仪测量利用的是迈克尔逊干涉原理：(1)从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束（圆偏振光）通过分光镜后，将分成两束激光（线偏振光）；(2)两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光（红色线条）返回，通过分光镜后进行叠加，由于两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定，即满足干涉条件；(3)角锥反射镜B每移动半个激光波长的距离，将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。江苏透射波前激光干涉仪参考价不同F数的球面类（凸面、凹面）光滑表面面形测量 。
由于激光具有极好的时间相干性，其相干距离可以达到数公里，所以自激光问世以来，以激光为光源的激光干涉仪一直被人们所关注，其应用范围不断扩展，激光干涉仪技术也不断发展，出现了各种形式的激光干涉仪。尽管存在各种形式的激光干涉仪，但从原理上讲，可以归结为单频激光干涉仪和外差激光干涉仪两种基本类型。通常用于长度测量的激光干涉仪采用Machelson干涉仪系统，图1为单频激光干涉仪原理示意图，分光镜BS将激光分为2束，一束射向定镜R，另一束射向动镜M，当动镜M移动时，经R和M的反射光在O处汇合产生干涉，由于分光镜金属膜的附加相移性质，光电探测器D1、D2接受的信号相位差为90°，用于计数器的方向辨别。
为什么要用双频激光干涉仪？单频激光干涉仪是一种直流测量系统，存在较大的零漂；同时由于空气湍流，机床油雾，切削屑等会使光束发生偏移或波面扭曲，导致激光束强度发生变化，就有可能使光电信号低于计数器的触发电平而使计数器停止计数。双频激光干涉仪的信号时交流信号，因而对于双频激光干涉仪来说，可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大，这样，即使光强衰减90%，依然可以得到合适的电信号。双频激光干涉仪可以在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等，也可以在普通车间内为大型机床的刻度进行标定。不同F数的柱面类（凸面、凹面）光滑表面面形测量。
单频干涉仪能做的双频激光干涉仪都能做，但双频干涉仪能做的单频干涉仪不见得能做。由于历史、技术和商业原因，两种干涉仪都有着广泛应用。但在光刻机上，双频激光干涉仪独占市场。单频干涉仪不需要对市场上的氦氖激光器进行改造，直接可用。但双频激光干涉仪用的激光器需要附加技术使其产生双频（两个频率）。历史上，双频激光干涉仪测量位移的速度不及单频激光干涉仪，自从发明了双折射-塞曼双频激光器，双频激光干涉仪的测量速度也达到每秒几米，与单频激光器看齐了。激光干涉仪：数字化动态分析。江苏透射波前激光干涉仪原理
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干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。 有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的，**初用于检定基准线纹尺，后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2 含量0.03%)下的测量*度很高，可达1×10。从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式江苏通用水平式激光干涉仪品牌排行
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